凯尼KC&KTC型双级滑阀真空泵

凯尼KC&KTC型双级滑阀真空泵

型号:

KC-5,KC-8,KC-15,KTC-21,KTC-60, KTC-112

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凯尼 KC&KTC型双级滑阀真空泵是机械式真空泵中可获得最低压力的泵,推荐应用于工作压力低于 0.1Torr (0.13mbar)的工况。标准产品都配置可调节气镇阀,可以处理含水蒸气或其他蒸汽的介质。 KC&KTC滑阀泵都是风冷系统,除了 KTC-112滑阀泵是水冷系统(风冷系统可供选择)。

产品特点:采用三联滑阀设计确保泵自身动态平衡;滑阀与泵腔之间充满了油且没有金属与金属间的接触;该系列双级滑阀泵特别可靠和经久耐用。

典型应用:制冷系统排气、液态气体储存、制动液加液系统、低压化学气相沉积 (LPCVD),硅晶生长、泄漏检测